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アイソレーションフラップ



微粒子コーティング・造粒装置複合型流動層 SFP(SUPER FINE PROCESSOR
  • 作業者および作業環境を薬物暴露リスクから保護。
  • クロスコンタミネーションの防止。
  • スタティックシールのみ(TKS)もしくは膨張シールとスタティックシールの組合せ(SKS)によりOEL10μg/m3から0.1μg/m3に対応。
  • 自動ドッキングシステム採用により、高精度・短時間での接続/切り離しが可能。
  • WIP洗浄対応。
  • 駆動機構はアクティブ側バルブのみに設置。
  • 洗浄および点検のための分解/組み立てが容易な構造。
  • 局部排気システムの組み分けも可能。(オプション)

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特徴 feature
アイソレーションバルブシステムTKS/SKSの開閉原理
アイソレーションバルブシステムTKS/SKSの開閉原理

洗浄システム
洗浄システム

SMEPACによる分類(Operational Exposure Level)

SMEPACによる分類(Operational Exposure Level)

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